MBE-600系統非常適合III-V，II-VI的材料應用，該系統可以對1、2和3英寸襯底進行外延，并且其垂直腔室設計以及各種先進組件可實現逐層精確的外延。
MBE-600的突出特點是系統的高可靠性、多功能性和緊湊性，這些功能使MBE-600系統特別適合研發應用及準批量生產。MBE-600的標準版本包括10個源端口，其中7個法蘭尺寸為4.5英寸（DN63CF），3個法蘭尺寸為2.75英寸（DN35CF）。MBE-600的定制版本也涵蓋了特定的生產需求，例如超高真空解理鍍膜系統。
根據我們所有客戶的要求，我們提供不同種類的普通蒸發源，帶閥的裂化器源，氣體源和電子束蒸發源。通過使用BFM，QCM，RHEED，RGA等，可以獲得系統原位表征。費勉的MBE軟件包括生長工藝程序編寫、自動生長控制和不間斷數據記錄三大功能。可以執行生長工藝程序控制擋板運動，源爐溫度，襯底溫度，襯底旋轉速度和方向。保證最大的操作可重復性和安全性。控制軟件包括溫度曲線，真空壓力曲線，電源輸出功率曲線，各系統間傳樣等工藝需求功能。
| MBE-600 手動傳樣系統 | |
 | 可以進行3inch襯底傳遞。費勉儀器將傳統的襯底轉移方法轉換為一個功能齊全的設備。該系統不僅可以提供水平線性運動進行襯底轉移，而且可以在垂直方向上提供高達25 mm的移動空間以進行上下運動來取出或放置襯底。該系統無需使用二次運動工具，降低了成本并極大地簡化了襯底傳輸技術。 |
| MBE-600 Cluster 全自動傳樣系統 | |
 | 可以輕松將襯底傳至各個腔室，而不會破壞MBE腔室真空度。Cluster Tool是安裝在UFO頂部或底部的機械臂組件，可360°連續旋轉，目的是在整個MBE系統中轉移襯底；搭配線性驅動裝置，實現垂直方向0~50mm自由運動，目的是放置和抓取襯底。機械臂末端可搭配3inch襯底抓取頭，最大負載可達1kg。機械臂通過高扭矩磁耦合驅動器驅動機械臂旋轉至所需真空腔體端口，定位基片安裝在機械臂前端上，以檢測機械臂在系統模塊內移動襯底的過程。 |
| 配置 | MBE-600 | |
| 生長室 | 腔體尺寸 | 450mm I.D. |
| 極限真空 | <2×10-10mbar | |
| 液氮冷屏 | 標配 | |
| 冷屏通液氮后極限真空 | <5×10-11mbar | |
| 襯底加熱器最高溫度 | 1000℃ | |
| 襯底加熱器溫度穩定性 | ±0.5℃ | |
| 襯底最大尺寸 | 3inch | |
| 襯底旋轉 | 60RPM | |
| 蒸發源配置 | CF35×3／CF63×7 | |
| 獨立的蒸發源擋板 | 電機驅動 | |
| 離子規 | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| 預處理 | 極限真空 | <2×10-10mbar |
| 預處理加熱器最高溫度 | 450℃ | |
| 離子規 | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 進樣室 | 極限真空 | <1×10-8mbar |
| 樣品停放臺 | 至少4+2 | |
| 紅外烘烤燈 | 選配 | |
| 全量程規 | 1×103~5×10-9mbar | |
| 傳樣室 | 極限真空 | <5×10-10mbar |
| 傳樣時壓力 | <1×10-9mbar | |
| 手動/全自動 | 選配 | |
| 離子規 | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 樣品停放臺 | 至少4+2 | |
| 系統控制 | 觸摸屏操作面板 | 加配 |
| 生長工藝程序編寫 | 加配 | |
| 自動生長控制 | 加配 | |
| 不間斷數據記錄 | 加配 | |
| 報警保護功能 | 加配 | |
| 聯鎖功能 | 加配 | |
| 選配 | CCD | 選配 |
| 手套箱 | 選配 | |
| 磷回收系統 | 選配 | |
| 襯底紅外測溫系統 | 選配 | |
| 真空照明系統 | 選配 | |
| SMS | 選配 |
收到資料后，我們的銷售人員/產品工程師將與您聯系
部分產品可根據您的需求定制
您的資料將全程保密
EN
021-6525 3206
您當前位置：
全國服務熱線
詳詢產品信息